- ஒன்று/இரண்டு கதவுகள்
சட்டகம் மற்றும் அறை ஆகியவை கார்பன் துருப்பிடிக்காத எஃகு மூலம் செய்யப்படுகின்றன.
ஒவ்வொரு கதவும் செயல்முறையின் காட்சிக் கட்டுப்பாட்டிற்கு ஒரு ஆய்வு சாளரத்தை வழங்குகிறது.கதவு சுவர்கள் ஒரு துருப்பிடிக்காத எஃகு லைனரை வழங்குகின்றன, இது பராமரிப்புக்காக எளிதில் அகற்றப்படுகிறது.
- தனிப்பயனாக்கப்பட்ட வெற்றிட அறை
அறையானது உள் துருப்பிடிக்காத எஃகு லைனர்களை சுத்தம் செய்வதற்காக எளிதில் அகற்றுவதை வழங்குகிறது.
பம்புகள் அதன் பின் பகுதியில் நிற்கின்றன.
அறையானது அளவிடும் நோக்கத்திற்காக சிறிய விளிம்புகளின் வரிசையைக் கொண்டுள்ளது.
- உயர் வெற்றிட உந்தி அமைப்பு
டிஃப்யூஷன் பம்ப்+பூஸ்டர் பம்ப்+மெக்கானிக்கல் பம்ப்
- வெற்றிட அளவீடு மற்றும் கட்டுப்பாடு
மெட்டல் பிரனி கேஜ்+உலோக அயனிசேஷன் கேஜ் உடன்
- சாதனங்கள் நகரும் அமைப்பு
-பிஎல்சி கட்டுப்பாட்டு அலகு
உயர் சக்தி மின்மாற்றி கொண்ட அலுமினியம் ஆவியாதல் அமைப்பு
- இரும்பு சட்டகம்
கட்டமைப்பு நியாயமானது
பட அடுக்கு சீரானது
திரைப்படத்தை உருவாக்கும் தரம்
அதிக உந்தி வேகம், குறுகிய வேலை சுழற்சி மற்றும் அதிக உற்பத்தி திறன்
செயல்பாடு வசதியானது
குறைந்த ஆற்றல் நுகர்வு மற்றும் நிலையான செயல்திறன்
மாடல் எண் | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | இரண்டு கதவுகள் அல்லது இரண்டு அறைகள் மாதிரி கிடைக்கும் | |
வெற்றிட அறையின் பரிமாணம் (விட்டம்* உயரம்) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
வெற்றிட அறையின் பொருள் | கார்பன் ஸ்டீல், SUS304 அல்லது SUS316L | ||||||
வேலை செய்யும் தொழில்நுட்பம் | டங்ஸ்டன் மற்றும் அலுமினியம் இழைகளுடன் கூடிய வெற்றிட எதிர்ப்பு ஆவியாதல், உயர் சக்தி ஆவியாதல் மின்மாற்றி | ||||||
உந்தி அமைப்பு | டிஃப்யூஷன் பம்ப்+மெக்கானிக்கல் பம்புகள், பூஸ்டர் பம்ப் | ||||||
உந்தி நேரம் | வளிமண்டலத்திலிருந்து 5.0*10-2Pa வரை 8 நிமிடங்களுக்கும் குறைவானது | ||||||
வெற்றிட வரம்பு | 5.0*10-4 பா | ||||||
வேலை வெப்பநிலை | அறை வெப்பநிலை | ||||||
வேலை முறை | தானியங்கி அல்லது கைமுறை பயன்முறை, 10.4 இன்ச் பிஎல்சி தொடுதிரை | ||||||
மொத்த சக்தி | 40-80kW | 70-140kW | |||||
தடம் | 2*2 மீட்டர் | 2*3 மீட்டர் | 3*3 மீட்டர் | 3*3 மீட்டர் | 3*4 மீட்டர் | 4*5 மீட்டர் | 5*6 மீட்டர் |
இந்த அலகுகளை நீங்கள் தனிப்பயனாக்கலாம் | 1. வெற்றிட அறையின் அளவு 2. குழாய்களின் கட்டமைப்புகள் | ||||||
விருப்ப கருவிகள் | 1. கசிவு கண்டறிதல் 3. ஆர்க் அயன் படிவு அமைப்பு 4. Magntron sputtering அமைப்பு |